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기록
一种梯度钨-钽合金靶层电子加速器X射线转换靶
발명유효
7조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
曹留烜; 张炳煌
IPC 분류
H01J 35/08 (2006.01)C23C 4/134 (2016.01)C23C 4/08 (2016.01)C23C 4/18 (2006.01)H01J 35/12 (2006.01)
一种梯度钨‑钽合金靶层电子加速器X射线转换靶,属于辐射源领域,包括上框架和下框架,二者之间夹持功能梯度材料靶层,其由钨‑钽合金材料构成,通过多通道等离子喷涂工艺制备,沿厚度方向钨与钽的成分由9:1过渡至1:9,梯度层为5~25。钨基粉为钨粉或掺杂锆或铌的钨合金粉,采用机械合金化或气相沉积工艺制备,以提升靶层的高温力学性能与耐辐照稳定性。喷涂成型后,靶层经热等静压致密化处理,提高致密度。靶层通过磁性结构连接于上框架。下框架设有冷却剂层,采用高导热纳米流体作为冷却介质,并通过分流器实现冷却剂均匀分布。本发明具有高X射线转换效率、优异的热力学稳定性和良好的运维便捷性,适用于高功率电子加速器辐照系统。