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기록

用于精密电镀的双脉冲高频开关电源控制方法及系统

발명유효
9청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

深圳欧克迈科技有限公司

발명자

梁珍友; 韩琴琴

IPC 분류

H03K 3/57 (2006.01)H02H 9/04 (2006.01)G06F 30/20 (2020.01)

本发明提供了一种用于精密电镀的双脉冲高频开关电源控制方法及系统,涉及电镀领域,所述方法包括通过三维扫描仪采集区域表面数据,得到三维模型;根据三维模型提取出高曲率区域网格,计算得到表面凹凸度指标;进行电流场模拟,计算电流密度向量分布;当所述电流密度向量分布的偏差超过预设的偏差阈值,则通过遗传算法优化脉冲参数;选取与所述表面凹凸度指标最匹配的脉冲参数,迭代计算得到更新后的电流密度向量分布;基于所述更新后的电流密度向量分布与初始分布的差异,预测镀层厚度值,确定初步评估指标;优化脉冲参数,得到最终均匀电流分布的控制方案。本方法能够根据工件几何形状动态优化脉冲参数,实现电流分布均匀和镀层质量稳定。