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기록
半导体器件
발명유효
17조회수
20청구항 · 20 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
童宇诚; 张钦福
IPC 분류
H10B 12/00 (2023.01)H10W 20/43 (2026.01)
本发明公开了半导体器件,包括衬底、栅极结构、多个绝缘间隔、多个第一焊盘、绝缘层、以及高介电常数材料层。绝缘间隔与栅极结构交替地设置在衬底上。第一焊盘设置在绝缘间隔上。绝缘层覆盖在绝缘间隔与栅极结构上,其中,覆盖在栅极结构上的绝缘层具有凹陷。高介电常数材料层设置在凹陷内,且高介电常数材料层的最底面低于第一焊盘的最顶面。如此,借助高介电常数材料层及/或绝缘层的设置改善栅极结构顶部的结构缺陷,避免其与上方设置的金属互连线之间衍生可能的短路问题。