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기록
一种半导体器件及其制备方法和电子装置
발명유효
6조회수
9청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张俊龙; 黎震宇; 王琛; 刘国安
IPC 분류
H10D 64/01 (2025.01)H10D 64/27 (2025.01)
一种半导体器件及其制备方法和电子装置,制备方法包括:提供衬底,在所述衬底上形成有栅极介质层,在所述栅极介质层上形成有栅极结构,所述栅极结构包含间隔设置的开关栅极、逻辑电路栅极和LNA栅极;在所述LNA栅极上形成有保护层;对所述LNA栅极进行横向刻蚀处理,以形成T型栅结构;形成介质层,所述介质层覆盖所述衬底及所述栅极结构,且在所述T型栅结构的两侧形成空腔。本申请能有效降低栅电阻并优化沟道长度控制,显著提升射频性能,有效解决了现有技术中5G LNA器件因寄生电容大而受限的射频性能及制备成本居高不下的问题。