基于双分布式布拉格反射镜谐振腔的波导型光电探测器

本发明涉及光电探测器技术领域，特别涉及一种基于双分布式布拉格反射镜谐振腔的波导型光电探测器，包括：外延层；脊型波导，其刻蚀至外延层的n型掺杂层；电极，其设置在脊型波导的中段；双分布式布拉格反射镜谐振腔结构DBR，其包括第一分布式布拉格反射镜和第二分布式布拉格反射镜，第一分布式布拉格反射镜和第二分布式布拉格反射镜分别设于电极所在区域的两侧，第一分布式布拉格反射镜允许光从入射端向出射端传输，同时反射从出射端向入射端的光，以与第二分布式布拉格反射镜形成谐振腔。由此，解决了传统光电探测器中响应度与带宽之间的权衡问题，以及DBR结构制作灵活性不足等问题。