一种图像传感器的制备方法

本发明公开了一种图像传感器的制备方法，在衬底上沟槽刻蚀完成后，通过在沟槽和衬底表面沉积一掺杂有P型离子的氧化层（BSG），采用低温增强扩散和/或激光瞬时热退火的工艺将P型掺杂离子引入并激活的同时，不提高器件的热预算，且修复了沟槽表面的刻蚀损伤，提高了图像传感器的沟槽隔离性能。