一种TOPCon电池及其制备方法和光伏组件

本发明公开了一种TOPCon电池及其制备方法和光伏组件，涉及光伏技术领域。本发明提供的TOPCon电池的背面叠层结构中保护隧穿氧化层、多晶硅层和氧化硅层，其中氧化硅层中的二氧化硅质量占比非常高，这类富氧氧化硅含量高的SiOx掩膜具备更好的钝化效果，有利于进一步改善电池效率。