一种加热腔室

本发明公开了一种加热腔室，包括机架；腔体，安装在所述机架上，所述腔体具有顶盖；加热板，设置于所述腔体内部，用于承放工件；真空系统，包括设置于所述腔体上的抽真空接口和进气口，所述抽真空接口用于连接真空发生器；温度控制系统，包括内置于所述加热板的加热棒和温度传感器，其中所述加热板被划分为多个独立的控温区域，每个所述区域内布置有至少一个加热棒和一个温度传感器，通过分区域布置并独立控制加热与监测元件，实现了加热过程的动态精细调控，保证了温度场的均匀分布，真空系统的协同工作实现了薄膜在受热软化同时获得均匀贴合压力。