减薄晶圆提取运送机构

本发明公开了一种减薄晶圆提取运送机构，包括：夹取机构安装架、吊杆、两纵壁、纵向驱动机构、两水平导轨和水平驱动机构，其中夹取机构安装架悬吊在吊杆下，其内设有减薄晶圆夹取机构、两侧设有滑设在纵壁的纵向导轨上的纵向滑块；吊杆的两端分别设有与纵壁的侧面的纵向齿条啮合连接的齿轮，中部设有与纵向驱动机构的机轴上的机端皮带轮通过皮带连接的杆端皮带轮；纵壁底部的水平滑块滑设在水平导轨上；水平驱动机构与其中一纵壁驱动连接。本发明的减薄晶圆提取运送机构可驱动减薄晶圆夹取机构分别在纵向和水平上移动，其中通过纵向移动可以驱动减薄晶圆夹取机构深入靠近减薄晶圆，进而导向夹取减薄晶圆，极大提高减薄晶圆转运时的稳定性。