一种非均匀离子注入掺杂浓度的二次谐波信号获取方法及应用

本发明属于半导体掺杂相关技术领域，其公开了一种非均匀离子注入掺杂浓度的二次谐波信号获取方法及应用，步骤为：S1，基于离子注入掺杂样品中光学性质分布模型确定特定激光波长下、离子注入掺杂样品不同深度位置的折射率和吸收系数；S2，基于得到的折射率和吸收系数计算掺杂样品中基频光电场分布；S3，基于简化键超极化率模型及基频光电场分布计算获得非均匀掺杂离子注入样品的极化强度及有效二阶极化率；S4，基于得到的各层极化强度或者有效二阶极化率计算对应层在预定观测角下的远场二次谐波，并对所有层对应的远场二次谐波进行积分，以获取结深远场辐射的二次谐波总强度。本发明解决了测量灵敏度和重复性降低的问题。