一种具有对准功能的边缘检测设备

本发明公开一种具有对准功能的边缘检测设备，属于半导体制造设备领域，设备包括边缘检测模组，其摆正机构含吸盘、旋转电机、二维运动模组及寻边相机，二维运动模组由X轴导轨、Y轴导轨、滑板及电机组成，实现晶圆平移与旋转对准；光学组件含相机、棱镜组件、横向运动模组及相机微调机构，棱镜组件通过上棱镜、下棱镜捕获晶圆上下边缘光线，经90度转折棱镜整合形成含多部位信息的合成图像，设备还设读码机构及智能控制单元，可同步完成晶圆对准、边缘检测与识别码读取，提升检测精度与效率，解决了现有半导体制造中“对准与检测分离”模式下，需额外配置独立检测设备、晶圆处理时间长、多次传输易损伤且良率低的问题。