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具有由纳米线形成的接合焊盘的半导体管芯

발명유효
19청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

英飞凌科技股份有限公司

발명자

C·拜尔; M·洛曼; F·克雷斯

IPC 분류

H10W 72/59 (2026.01)H10W 74/10 (2026.01)

本文涉及一种具有由纳米线形成的接合焊盘的半导体管芯。一种形成半导体封装的方法包括:提供半导体管芯,半导体管芯包括设置在半导体管芯的上侧处的接合焊盘;提供载体,载体包括管芯附接焊盘和着陆焊盘;将半导体管芯安装在管芯附接焊盘上,其中,接合焊盘背对载体;以及将电互连元件附接在接合焊盘与着陆焊盘之间,其中,接合焊盘是由纳米线形成的。