磨削方法、磨削刃剩余量的计算方法以及磨削装置

一种用于在具备多个基板保持部和磨削磨具的磨削装置中对保持于所述基板保持部的基板进行磨削的方法，包括：通过所述磨削磨具对第N个基板(N≥1)进行磨削；通过所述磨削磨具对第N+1个基板进行磨削；以及调整所述磨削磨具的基准位置，其中，在调整所述基准位置时，进行以下处理：判断保持所述第N个基板的所述基板保持部与保持所述第N+1个基板的所述基板保持部是否相同，在保持所述第N个基板的所述基板保持部与保持所述第N+1个基板的所述基板保持部不同的情况下，考虑不同的所述基板保持部之间的上表面高度的误差，在保持所述第N个基板的所述基板保持部与保持所述第N+1个基板的所述基板保持部相同的情况下，不考虑所述上表面高度的误差。