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适用于低温固化的可光固化且可热固化组合物

발명유효
1조회수
18청구항 · 7 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

L·费勒; 鲛岛香织; P·内斯瓦德巴

IPC 분류

G03F 7/031 (2006.01)

本发明涉及一种组合物,其包含(i)至少一种携带至少一个烯属不饱和基团的化合物或低聚物(A),(ii)至少一种具有式(1)的热自由基引发剂(B),以及(iii)至少一种光引发剂(C);涉及用于使用这些组合物制备固化层或固化图案的方法;涉及通过相应的方法形成的固化层和固化图案;并且涉及包括至少一个固化层或固化图案的装置。