用于半导体良率相关组件的稳健训练的稀有事件训练数据集

本发明提供用于确定样本的信息的方法及系统。一种方法包含收集先前在一或多个其它样本上检测到的已知稀有缺陷类型的图像及响应于所述图像中的所述已知稀有缺陷类型而将训练标记指派给所述图像。所述方法还包含将所述所收集图像及所述经指派训练标记存储为稀有缺陷类型训练数据集。直到所述稀有缺陷类型训练数据集与针对所述样本所产生的训练图像及对应训练标记组合，所述稀有缺陷类型训练数据集才适合用于训练经配置以从由成像系统针对所述样本产生的运行时图像确定所述样本的信息的组件。所述方法还可或替代地对先前在一或多个额外样本上检测到的已知工具偏移事件执行这些步骤。