基板处理方法及基板处理装置

提供一种可降低基板的周缘部的图案的倒塌率的技术。本发明的基板处理方法包含保持工序、液处理工序、及干燥工序。在保持工序中，保持基板。在液处理工序中，对基板（W）的第1主面（Wa）供给处理液。在干燥液供给工序中，在液处理工序之后，使基板（W）旋转，且加热基板（W）的第2主面（Wb），并且将表面张力较处理液低的干燥液供给至基板（W）的第1主面（Wa）。在干燥液供给工序的至少一部分的时间中，自喷出部（3）的第1喷出口（3ia）喷出干燥液并着落于基板（W）的第1主面（Wa）的中央部，且自喷出部（3）的第2喷出口（3ib）喷出干燥液并着落于基板（W）的第1主面（Wa）的周缘部。在干燥工序中，在干燥液供给工序之后，使基板（W）的第1主面（Wa）上的干燥液蒸发而使基板（W）干燥。