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一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备

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§ Ⅰ

개요

발명자

王强; 白如意; 吴利国; 林善斌; 金龙源; 马越; 马梓珈

출원일

Aug 26, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

B08B 9/28 (2006.01)B08B 9/20 (2006.01)

本发明公开了一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备,涉及坩埚浸酸清洗技术领域,包括设备本体,所述设备本体上设置有清洗室,所述清洗室的表面位置装设有箱门,所述清洗室的内部固定连接有底板,所述底板上固定安装有圆环,所述圆环上转动连接有转盘,所述底板与转盘上均固定安装有导轨。本发明结构合理,通过定位组件将坩埚固定在转盘上,然后通过转盘的转动使清洗组件对坩埚的内部与外部进行清洗工作,通过旋转组件使防护门进行关闭,避免在清洗的时候溶液出现飞溅的现象。