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一种电子级双槽车化学品转移系统及方法

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§ Ⅰ

개요

발명자

孙凯; 坎勇; 冯江; 王宇阳; 黄顺; 王东意

출원일

Aug 24, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

B67D 7/02 (2010.01)F17D 1/02 (2006.01)F17D 1/12 (2006.01)F17D 3/01 (2006.01)B67D 7/06 (2010.01)B67D 7/72 (2010.01)B67D 7/36 (2010.01)

本发明公开了一种电子级双槽车化学品转移系统及方法,包括连通出料槽车与收料槽车的化学品转移管路,氮气管路对出料槽车加压推送化学品输送,尾气排放管路排出收料槽车内气体并维持其内部微正压。本发明形成槽车对槽车的直连转移通路,取消了储罐中转环节,从源头避免了储罐内壁锈蚀、残存废液及环境水汽对物料的污染,确保电子级高纯化学品在转移全过程中的洁净度,满足半导体、微电子行业对金属离子含量的严苛管控标准。出料槽车、收料槽车可充当移动式储罐,既能临时存储电子级化学品,又可直接作为成品发货转运载体,省去固定式储罐的建造投资,精简物料倒运流程,有效提升物料整体周转效率。