一种电子级硫酸的密闭惰化定量充填系统及酸雾回收方法

本发明公开了一种电子级硫酸的密闭惰化定量充填系统及酸雾回收方法，属于电子级硫酸处理领域，包括将待充填容器与充填通路及回气通路密封连接，向所述待充填容器的气相空间通入惰性气体，使由所述待充填容器排出的气体经设有回气缓冲空间的回气通路进入酸雾回收通路；通过根据电子级硫酸进入量、惰性气体进入量、实际回气量和容器气相状态调节充填流量与回气流量，根据供酸通路的压力衰减情况对停止主充填后的残余流入量进行补偿，并按照不同充填阶段分别收集硫酸回收液，使得电子级硫酸的进入过程、容器气体排出过程、主充填停止过程和酸雾回收过程相互协调。