β相碳化硅粉体的制备方法

本发明公开了β相碳化硅粉体的制备方法，涉及碳化硅制备技术领域。该方法包括：对固相反应高温炉进行升温，直至固相反应高温炉内的温度为900～1100℃，保温时间为8～12h，同时在升温过程中向固相反应高温炉内通入不与碳硅混合粉料反应的惰性气体，使得固相反应高温炉内的压力为80～120mTorr；继续对固相反应高温炉进行升温，直至固相反应高温炉内的温度为1300～1500℃，保温时间为10～20h，同时在升温过程中向固相反应高温炉内通入惰性气体，使得固相反应高温炉内的压力为0～50mTorr。该方法提高了坩埚轴向和径向均匀性，使碳化硅粉体的反应效率更高，基本无残留游离硅和游离碳。