一种电子级金属氯化物的提纯方法

本发明提供了一种电子级金属氯化物的提纯方法，所述提纯方法包括：将金属氯化物粗品与还原性粉末混合，在高温、惰性氛围及持续混合条件下进行还原反应；还原反应后，将反应产物冷却，进行减压升华提纯，随后冷凝收集得到产物。本发明的提纯方法通过高温球磨还原+减压升华工艺的步骤，直接制备纯度达6N的电子级高纯金属氯化物，全程无高压操作，工艺简单、除杂彻底。