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기록
大型防护薄膜用氟聚合物溶液、大型防护薄膜及大型防护膜
발명알 수 없음
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4청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
C09D 127/18 (2006.01)G03F 1/48 (2012.01)C09D 7/20 (2018.01)
本发明提供一种无需如以往那样以与LSI相同的水平选择并使用溶媒,能够廉价地提供溶媒干燥后的膜面上的膜厚不均少且外观优异的大型的防护薄膜的大型防护薄膜用氟聚合物溶液、大型防护薄膜及大型防护膜。本发明提供一种大型防护薄膜用氟聚合物溶液、大型防护薄膜及大型防护膜,所述大型防护薄膜用氟聚合物溶液是面积为1000 cm以上的大型防护膜用的以氟聚合物为主成分的防护薄膜用聚合物溶液,在涂布并形成在基材上的聚合物溶液层的湿膜厚为30μm以上、干膜厚为2μm~10μm的聚合物溶液中,用作溶媒的主成分的纯度为80%以上,或者使用的溶媒的沸点范围在±30℃以内。