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WB/Ag/CrB宽温域固体自润滑薄膜及制备方法和应用
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
C23C 14/02 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/18 (2006.01)F16C 33/66 (2006.01)
本发明公开了WB/Ag/CrB宽温域固体自润滑薄膜，包括设置于基体表面的Cr打底层，Cr打底层上设置有WB/Ag/CrB工作层。本发明还公开了该WB/Ag/CrB宽温域固体自润滑薄膜的制备方法，具体为：基体预处理；采用磁控溅射技术，利用Cr靶在基体上进行Cr打底层的制备；利用CrB靶、Ag靶和WB靶，在Cr打底层表面沉积WB/Ag/CrB工作层，即可。当该薄膜暴露于400 ℃和600 ℃环境时，其与磨件的摩擦接触区域会原位生成AgO、WO、W的Magnéli相、AgBO、AgWO和BO润滑相，发挥协同润滑作用，展现出良好的自润滑效果。