一种钴锆钽硼合金靶材的制备方法

本发明涉及一种钴锆钽硼合金靶材的制备方法，包括：（1）按照配比称取Co料、Ta料、Zr料和B料；在坩埚底段铺设Co料；坩埚中段由外到内按照Co料、Ta料、Co料顺序铺设，其中Ta料与坩埚壁面的距离≤20mm；坩埚顶段Co料和Zr料混合放置；（2）将坩埚内原料熔化后，加入B料，进行悬浮熔炼和浇铸，得到合金坯料；（3）将所述合金坯料装入第一包套内，抽真空密封，进行热等静压处理，得到带第一包套的合金坯料；（4）将所述带第一包套的合金坯料装入第二包套内，抽真空密封，依次进行热处理和轧制，随后去除包套，得到所述钴锆钽硼合金靶材。本发明可实现靶材的塑性加工，使靶材内部组织更加细小均匀，使用性能显著提升。