一种化学气相沉积设备尾气气路系统

本发明公开了一种化学气相沉积设备尾气气路系统，涉及化学气相沉积技术领域，解决现有尾气气路系统已无法同时满足安全输送、精准吹扫、应急处置一体化的使用需求技术问题，包括连接管路，所述连接管路的一端连接有用于与腔体连通的腔体管道，另一端连接有用于与干泵连通的KF50管道；所述连接管路上从腔体管道至KF50管道方向依次设置有手动阀、截止阀和蝶阀。本发明兼顾工艺适配性与突发工况应急能力，可实现前段气盘气体的独立排空，精准适配工艺特殊分流需求；同时针对断电、干泵宕机等突发情况，配置专属应急排气路径，快速排空空管路内淤积气体，避免压力异常与气体残留，提升系统运行的可靠性与抗风险能力。