高效低损耗液态源起泡器

本发明提供一种高效低损耗液态源起泡器，涉及化学气相沉积用辅助设备技术领域，包括起泡器本体和载气进气管，所述起泡器本体具有容纳腔并设有蒸汽出口，所述容纳腔用于容纳液态源并包括彼此连通的第一腔室和第二腔室，所述蒸汽出口与所述第一腔室连通，所述第一腔室的容积大于所述第二腔室的容积，所述第一腔室的横截面积远大于所述第二腔室的横截面积；所述载气进气管的至少部分配合于所述第二腔室内，所述载气进气管的出气口邻近所述第二腔室背离所述第一腔室的一端以对所述第二腔室通入载气。本发明可以有效降低起泡区域的容积，使得载气进气管的出口持续位于液态源液面以下，保证液态源利用率和稳定的液态源输出量。