半导体设备

本申请提供一种半导体设备，涉及半导体技术领域。该半导体设备包括设备主体、用于排出气体的排气管路，以及至少一个抽气装置。排气管路包括位于设备主体内的第一管段，第一管段的两端沿设备主体的高度方向相对设置，第一管段的管壁上开设有至少一个第一孔洞。抽气装置设置在第一管段，并与第一孔洞连接，以将设备主体内的气体抽入第一管段中，本申请中利用第一管段可以使得设备主体内的气体流速更加均匀。