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기록
重叠基座及预热环
발명알 수 없음
5조회수
14청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
丛者澎; 舒伯特·楚; N·O·谬; 卡蒂克·布彭德拉·仙; 叶祉渊; 理查德·O·柯林斯
출원일
Mar 23, 2022
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
C23C 16/458 (2006.01)C23C 16/44 (2006.01)C23C 14/50 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)C30B 25/14 (2006.01)C30B 25/16 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)H10P 72/76 (2026.01)
本公开内容涉及重叠基座及预热环。本文公开的实施方式通常提供对处理腔室中的气流的改进控制。在至少一个实施方式中，一种用于处理腔室的衬垫包括：环形主体，具有侧壁；及排气件，形成在环形主体中，用于将气体从环形主体的内侧排放到外侧。排气件包含穿过侧壁设置的一个或多个排气孔。衬垫进一步包括在环形主体中用于基板装载和卸载的开口。