CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

加料装置和单晶炉

발명알 수 없음
17청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张志强

출원일

Sep 2, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

C30B 15/02 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)

本申请提供一种加料装置和单晶炉,加料装置用于向单晶炉输送硅颗粒。加料装置包括管路组件和送料组件。管路组件包括第一部分和第二部分。送料组件设置在管路组件的内部且连接至管路组件。送料组件用于驱动管路组件的内部的硅颗粒沿管路组件的延伸方向移动。管路组件的远离硅原料仓的一端用于从单晶炉的侧面延伸至单晶炉的内部,且指向熔体硅的液面。在管路组件连接至单晶炉且向单晶炉输送硅颗粒的情况下,第一部分连接至第二部分,第二部分的远离第一部分的一端指向液面。根据本申请的加料装置,能够不通过单晶炉副室,不改变热场结构,实现向单晶炉内添加硅料,硅颗粒自由落体距离短,降低了液体飞溅,提高了后续单晶硅晶棒生长的稳定性。