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一种水平液相外延推舟系统
발명알 수 없음
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§ Ⅰ
개요
발명자
龙旺; 符雨婷; 陈思; 孙龙
출원일
Jul 7, 2026
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
C30B 19/06 (2006.01)
本发明公开了一种水平液相外延推舟系统,包括炉门组件、支撑组件和炉门驱动组件和石墨舟驱动组件,所述炉门组件包括炉门和设于炉门外侧的支撑套管,所述支撑组件用于支撑石墨舟,所述炉门驱动组件用于带动炉门沿第一方向移动,所述石墨舟驱动组件用于带动石墨舟沿第一方向移动,所述支撑组件包括石英舟座和支撑杆,所述石英舟座中设有配合孔,所述支撑杆的一端穿过炉门套装在支撑套管中,另一端套装在石英舟座的配合孔中。本发明具有能够满足大尺寸石墨舟的承载需求,以及稳定性好的优点。