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一种碳化硅晶须、其制备方法及应用
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
C30B 35/00 (2006.01)C30B 29/36 (2006.01)C30B 29/62 (2006.01)
本发明公开了一种碳化硅晶须、其制备方法及应用,其制备方法主要包含以下步骤:将高纯石英砂与负载过渡金属催化剂的木炭颗粒通过湿球磨法混合,得到碳硅前驱体;将所述碳硅前驱体置于保护气氛下的石墨坩埚或多芯加热炉中,阶梯式升温和保温处理,得到碳化硅晶须初级产物;将所述碳化硅晶须初级产物,研磨后进行热处理,再将其悬浮于由氢氟酸与强氧化性酸配制的复合溶液中,超声处理;经过后处理,得到干燥的碳化硅晶须。该方法制得的碳化硅晶须具有纯度高、长径比大于50的优点,可以广泛应用于金属基复合材料、先进结构陶瓷和新一代半导体材料等领域。