低温泵

本发明涉及一种能够提高吸附容量的低温泵。低温泵（10）具备：辐射屏蔽件（30），其与制冷机（14）的第1冷却台（22）热连接，并从低温泵吸气口（12）向低温泵容器（16）内沿轴向延伸，以在其与低温泵容器（16）之间形成屏蔽件外侧间隙（31）；及多个低温板，其与制冷机（14）的第2冷却台（24）热连接，并在辐射屏蔽件（30）的内侧空间（36）沿轴向排列。多个低温板包括多个低温板中配置为在轴向上最接近容器底部（16c）的底部低温板（43）。辐射屏蔽件（30）具备越过底部低温板（43）向容器底部（16c）沿轴向延伸的屏蔽件下部（30b），屏蔽件下部（30b）限定将屏蔽件外侧间隙（31）与内侧空间（36）连通的屏蔽件底部开口（34）。