一种用于聚变装置的低温真空泵

本发明公开了一种用于聚变装置的低温真空泵，摒弃了传统液氦、液氮制冷介质，采用制冷机作为整机制冷源，省去了复杂的低温介质供给系统，结构紧凑，简化现场操作维护，便于聚变装置整机集成，并设计低气阻进气结构的障板，提高单位时间进入冷屏内部的气体量，通过在吸附阵前端设置预冷板，降低气体对吸附阵直接热冲击，保证吸附阵维持超低温，实现对聚变装置内工艺气体的大抽速、高容量捕集，泵体的阀门均采用气动形式，将电子元器件集中布置于控制箱内，有效抵抗强磁场、辐照环境以及射频场强带来的影响，泵体密封与粘接均选用无机材质，避免氢脆、氚渗透、氚交换等情况，防止氚气外泄。