一种单振子双作用自感知压电泵及其自检方法

本发明公开了一种单振子双作用自感知压电泵及自检方法，包括层叠设置的上泵壳、泵体和下泵壳，泵体与下泵壳之间设置有泵腔且通过泵膜分割为上腔体和下腔体，泵膜位于上腔体一侧的表面设置有驱动压电晶片、位于下腔体一侧的表面设置有感知压电晶片；泵体上还设置有第一单向阀和第二单向阀，配合进出流体；在下泵壳上设置有喇叭状的进出口，驱动压电晶片在外部电信号的驱动下弯曲变形并带动感知压电晶片同步弯曲变形，感知压电晶片在弯曲形变时产生感知电压，根据感知电压进一步计算获得压电泵的流量和功率。本发明能够实现对单作用压电泵进行驱动的同时，感知压电泵的输出性能，实现输出性能的自检测，并且有效提高了输出性能。