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기록
闸阀及包括闸阀的真空处理装置
발명알 수 없음
11청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
F16K 3/314 (2006.01)F16K 47/00 (2006.01)
本发明提供一种闸阀及包括闸阀的真空处理装置,所述闸阀包括:壳体,包括设有第一开口部的正面部、设有第二开口部的背面部以及与所述正面部和所述背面部连接的侧面部;密闭部,设置在所述壳体内,能够开闭所述第一开口部和所述第二开口部;驱动部,与所述密闭部连接,用于移动所述密闭部;以及振动防止部,设置在所述壳体内,能够防止所述驱动部振动。