基于一维拼接拼痕桥接约束的CGH补偿非球面镜检测方法

本发明涉及面形检测技术领域，尤其涉及一种基于一维拼接拼痕桥接约束的CGH补偿非球面镜检测方法，包括对被测元件沿长度方向进行孔径单元布局；采集各孔径单元的全局坐标和原始相位数据；建立孔径单元间的重叠配准关系，求解重叠的孔径单元间的相对一阶校正量；构建局部闭环残差并筛选得到有效相对一阶校正量，完成初始拼接得到初始面形融合结果；交替迭代更新初始面形融合结果中的误差参数，迭代收敛后输出校准后误差参数和全局面形估计；对有效相位数据进行误差校正，经加权融合得到被测元件的全局面形。本发明能够降低重叠区域边缘低可靠数据对结果的影响，增强定位误差、系统误差与真实面形间的可分离性。