面向智能传感器的高精度温压变送器补偿方法

本发明公开了面向智能传感器的高精度温压变送器补偿方法，属于智能传感器温压补偿技术领域。在温压变送器的感压膜片上布置与温度敏感梁同源激振的压电激励器，采集感压膜片在压力作用下的第一谐振频率序列和温度敏感梁在温度作用下的第二谐振频率序列；将第一谐振频率序列与第二谐振频率序列以相同采样时钟进行同源相位比对，根据互相关相位偏移量确定温度场对感压膜片的附加刚度系数；将附加刚度系数乘以感压膜片当前温度下的等效弹性模量修正量，生成温度串扰补偿量；对第一谐振频率序列进行频率牵引校正，得到压力主频值；将压力主频值与第二谐振频率序列进行双谐振器耦合运算，解算得到温压补偿输出值。该方法改善温压串扰补偿精度。