具有压力与形变双闭环的光学记录介质夹持测控系统

本发明公开了一种具有压力与形变双闭环的光学记录介质夹持测控系统，属于光学精密仪器及全息记录技术领域。该系统包括机械夹持组件与干涉测量组件。所述机械夹持组件包含支撑件、带有柔性阻尼缓冲件和压力传感元件的侧向顶紧机构，系统通过压力传感元件实时反馈来控制侧向装夹力；所述干涉测量组件布置于机械夹持组件下方，测试光束经光学记录介质底面反射后与参考光束形成干涉条纹，由图像传感器接收以监测介质的受力形变，反馈调节装夹状态。本发明结构清晰、可扩展性强，可获得较高质量的全息记录结果，提高全息记录和微纳光刻过程的稳定性，适用于全息光学元件制备及微纳光刻等高精密微纳制造场景。