一种激光-振动耦合辅助微/纳米划痕测试装置

本发明涉及一种激光‑振动耦合辅助微/纳米划痕测试装置，属于耦合多能场材料划痕测试技术领域，主要是为了解决耦合多能场条件下材料微/纳米力学性能测试问题。该激光‑振动耦合辅助微/纳米划痕测试装置主要包括X/Y方向精密定位平台、显微观测单元、Z方向精密定位平台、激光光路调节单元、Z方向振动发生单元和X/Y方向振动发生单元。其中，X/Y方向振动发生单元装配在X/Y方向精密定位平台上，并固定在大理石底座上，Z方向精密定位平台装配在龙门上，显微观测单元、激光光路调节单元、Z方向振动发生单元装配在Z方向精密定位平台上。其达到的技术效果为：可以通过调控X/Y/Z方向的振动发生单元实现单/多维超声振动的转换，调节激光器与刀尖的相对位置可以实现原/离位激光转换，同时可以实现实时观测。结构紧凑，可实现原/离位激光的耦合能场辅助划痕测试与实时观测，开创了多能场耦合服役条件下材料微/纳米力学性能的测试新装备。