一种K空间角分辨瞬态参量散射光谱测量系统

本发明涉及一种K空间角分辨瞬态参量散射光谱测量系统，属于微电子及半导体器件领域。该系统包括：飞秒激光器、第一分束单元、电动延迟台、合束单元、第一物镜、位移台、第二物镜、二向色分束镜、连续激光器、信号准直滤波透镜组、第二分束单元、光谱仪和光束分析仪，通过时序可调飞秒泵浦光激发位移台上的样品激发出参量散射信号光波，信号经准直滤波透镜组、50:50分光单元并行传输至光谱仪与光束分析仪，实现参量散射K空间色散与二维动量分布同步实时测量，解决传统测试设备无法同步完成微腔参量散射动量成像与超快时间分辨测量的缺陷。