使用偏振光的检查系统、装置和方法

在一些实施例中，检查系统包括被配置为用偏振光照射部件的照明设备。照明设备包括光源和偏振器。该检查系统还包括图像采集设备，该图像采集设备包括光学传感器和分析器。光学传感器被配置为检测从部件反射或散射的光。分析器可以具有偏振轴，该偏振轴被定向为限制经由镜面反射从部件反射的偏振光。检查系统还可以包括与光学传感器通信的控制器，该控制器被配置为：从光学传感器接收指示从部件反射或散射的非偏振光的光学数据；并且基于光学数据来识别部件上的至少一个缺陷。