半导体加工用不锈钢EP管表面缺陷视觉检测方法及系统

本申请实施例提出了半导体加工用不锈钢EP管表面缺陷视觉检测方法及系统，涉及半导体加工用不锈钢EP管表面缺陷视觉检测技术领域，方法包括驱动检测探头沿待检管材的轴线方向移动，并获取待检管材内壁的图像数据以形成图像序列；对图像序列中的每一帧图像，识别图像与预设正常表面存在差异的潜在异常区域；获取潜在异常区域的多种特征信息并对潜在异常区域进行初步分类，得到缺陷候选区域；检查缺陷候选区域在连续图像中的空间位置连续性以及特征稳定性，得到行为模式判别结果；基于行为模式判别结果确认待检管材内壁的缺陷并输出缺陷的类型、尺寸以及位置信息。本申请能够提高半导体加工用不锈钢EP管内表面缺陷检测的准确性和可靠性。