大气氯离子沉积速率一体化监测探头及测量和修正方法

本发明公开一种大气氯离子沉积速率一体化监测探头及测量和修正方法，具体为基于ACM‑MEMS协同的大气氯离子沉积速率一体化监测探头及方法，该探头将铁‑银电偶对、Pt‑Ti惰性叉指电极及温湿度传感器共面集成于同一绝缘基底，相邻单元感测区域边缘间距不超过3mm，以共享同一薄液膜气象微环境。所述方法以MEMS叉指电极的液膜面导纳作为与ACM电偶电流数学独立的约束量，联立构成以氯盐浓度增量与液膜厚度变化为未知量的二元方程组；因两方程响应指数不同(β≠λ)，雅可比矩阵非奇异，经牛顿迭代唯一求解，将氯离子真实沉积速率从液膜蒸发浓缩效应引起的测量偏移中实时解耦。还可选用电阻式腐蚀探针以累积腐蚀失重为物理基准在线更新动力学系数，实现闭环自标定。