扫描探针显微镜自动换针方法

本发明公开了一种扫描探针显微镜自动换针方法，包括卸针步骤和装针步骤，探针存放在针盒内，探针通过设置在扫描探针显微镜上的换针组件进行自动更换。优点，采用夹爪夹持探针，并利用机械手实现探针的自动拆装，卸针、装针方便，同时又对安装到扫描头上的探针进行检测，确保探针的正确安装，有效避免因探针安装错误，导致扫描探针显微镜损坏的情况，又采用针盒存储探针，拆卸下来的旧探针和待安装的探针储存在针盒内，通过对取针放针流程的监控，对针盒中各个探针的状态进行记录，当状态健康探针的数量低于预设阈值时，设备发出警报并提示操作人员进行更换使用方便。