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一种探针卡针尖及其制备方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G01R 1/067 (2006.01)
一种探针卡针尖及其制备方法,探针卡针尖包括针尖基底、以及包覆于所述针尖基底的表面的复合涂料层;所述复合涂料层包括聚酰亚胺基体、碳纳米管和石墨烯;所述碳纳米管定向排列,使所述复合涂料层具有各向异性。本发明通过在针尖基底的表面包覆由聚酰亚胺基体、碳纳米管以及石墨烯构成的复合涂料层,以提高半导体集成电路的制造流程中电性测试的测试稳定性。