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一种芯片测试过程中接触电阻异常的动态判别方法

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§ Ⅰ

개요

발명자

莫雪亮; 杜吉豪

출원일

Sep 14, 2026

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G01R 31/28 (2006.01)G01R 27/02 (2006.01)G01R 35/00 (2006.01)

本发明属于芯片测量电变量技术领域,尤其为一种芯片测试过程中接触电阻异常的动态判别方法,包括以下步骤:S1:设备开机后,通过触摸控制器完成整机自检,将待测试芯片依次放置在多工位测试台上并固定;S2:启动测试程序,联动控制机构驱动探针测试座下行,使测试探针稳定接触测试芯片的引脚。本发明通过在测试间隙插入检测窗口并主动注入双频微扰探测信号,利用接触电阻异常时的非线性特性谐波失真与互调失真,实时动态判别接触状态,并与测试系统联动处理;芯片测量电变量效果好,设备通过电磁夹持、螺旋槽与棘齿轮单向啮合等纯机械结构,实现探针下压测试与工位旋转的联动,提高测试自动化程度和准确性。