对工艺和环境变化宽容的马赫-曾德尔干涉仪

本公开涉及对工艺和环境变化宽容的马赫‑曾德尔干涉仪，包括：具有第一多个相移段的第一波导以及第二波导，该第二波导通过在第二波导的第一端的输入耦合器和与第一端相对的第二端的输出耦合器耦合至第一波导并具有第二多个相移段。为了最小化工艺和/或环境变化对马赫‑曾德尔干涉仪的影响，第一波导和第二波导被制造成宽容各种工艺和/或环境变化。第一波导的第一相移段和第二波导的第一相移段形成对应对，第一对应对被配置为对由第一参数引起的通过第一波导和第二波导传播的光信号的波长移动提供波长宽容度。