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KBBF族非线性光学晶体光学耦合器件的制备方法及器件
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§ Ⅰ
개요
발명자
刘丽娟; 郑丽和; 闫育辉; 吴鑫昌; 唐方颖; 倪洲明; 王晓洋
출원일
Jul 21, 2026
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
G02B 7/00 (2021.01)H01S 3/108 (2006.01)H01S 3/109 (2006.01)G02B 7/18 (2021.01)G02F 1/355 (2006.01)G02F 1/35 (2006.01)
本发明公开了KBBF族非线性光学晶体光学耦合器件的制备方法,耦合器件包括第一棱镜和第二棱镜以及其间的KBBF族非线性光学晶体,所述方法包括第一步骤和第二步骤,第一步骤包括在真空键合设备中,利用第一夹具固定第一棱镜,定位所述晶体,真空条件下,分别对各待键合表面进行表面活化处理,将经活化处理待键合表面进行常温原位压力键合;所述第二步骤包括在真空键合设备中定位所述第二棱镜,真空条件下,分别对各待键合表面进行表面活化处理;将经活化处理的待键合表面进行常温原位压力键合,使所述第二棱镜键合于所述晶体上,得到光学耦合器件。本发明的制备方法可彻底消除界面气泡等微观表面缺陷,提升器件温度稳定性,转换效率提升2~4倍。