一种用于晶圆对准的双焦面同时成像光学系统

本发明公开了一种用于晶圆对准的双焦面同时成像光学系统。包括发射成像光线的照明模块、第一偏振分光棱镜、实现线圆偏振光转换的第一相位延迟器、物镜、管镜、改变成像光线振动方向的第二相位延迟器、第二偏振分光棱镜、反射镜组、合束器和相机；成像光线可以有两个光路，每个光路都会经第一偏振分光棱镜反射、第一相位延迟器转换、物镜聚焦、晶圆反射、物镜收集、第一相位延迟器转换、第一偏振分光棱镜透射、管镜会聚和第二相位延迟器转换，之后一个光路可以经第二偏振分光棱镜和合束器透射后入射至相机，另一个光路可以在经第二偏振分光棱镜、反射镜组和合束器反射后入射至相机。本发明可降低系统的光能量损耗，提高系统采样率。