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感光性树脂组合物、固化膜及其制造方法
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8조회수
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§ Ⅰ
개요
출원인
武汉柔显科技股份有限公司; 柔显（仙桃）光电半导体材料有限公司; 湖北鼎龙控股股份有限公司
발명자
赵志强; 付华; 王禹; 肖桂林; 郑林波; 张咏
출원일
Jul 28, 2026
공개일
Oct 16, 2026
IPC 분류
G03F 7/004 (2006.01)G03F 7/027 (2006.01)G03F 7/00 (2006.01)H10P 76/20 (2026.01)
本发明涉及一种感光性树脂组合物，包括(A)感光性聚酰亚胺前体、(B)光引发剂、(C)交联剂以及(D)交联促进剂；所述(C)交联剂结构如通式（1）所示：（1）式中，p代表10~24的整数；R、R和R各自独立地选自氢原子或C的有机基团；所述(D)交联促进剂为C的脂肪醛类化合物；所述(D)交联促进剂的含量相对100质量份的（A）感光性聚酰亚胺前体而言为0.005~0.1质量份。本发明提供的感光性树脂组合物固化膜力学性能好，分辨率高，残留应力低，可显著改善晶圆封装后翘曲、变形等尺寸稳定性问题。